真空系统原理是怎么样的?

[作者:万斯得 ;  来源:万斯得;  时间:2023-07-07 10:13:52;  浏览量: 次 ]

真空是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态,是一种物理现象,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压力小于一个标准大气压,我们通称此空间为真空或真空状态,我们的设备真空系统原理是采用一台机械泵和一台分子泵组合成高真空系统对样品腔进行抽真空动作。

真空系统原理是怎么样的?(图1)

旋片真空泵是获得低、中真空泵的主要泵种之一,它可分为油封泵和干式泵,根据所要求的真空度(人们把真空度划分为低真空 10^5~10^2pa,中真空10^2~10^-1pa,高真空 10^-1~10-5pa,超高真空<10^-5pa),可采用单级泵和双级泵,其中以双级泵应用更为普遍;我们使用的旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,其工作压强范围为101325-133 X10-2(Pa),属于低真空泵,它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵,广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

真空系统原理是怎么样的?(图2)

旋片泵具有抽速快,体积小,重量轻,噪声低,维修方便,极限真空度高等优点,可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体,但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一,旋片泵多为中小型泵,旋片泵有单级和双级两种,所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来,一般多做成双级的,是由高压级与低压级二部分组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时,高压级排气阀片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得一定的真空,根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使设备获得更高的真空;旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa133Pa和1.33 X10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵,它广泛的应用于表面分析、加速器技术、等离子技术电真空器件的制造以及真空技术的各个领域。

真空系统原理是怎么样的?(图3)

选用的是成都睿宝科技的真空计,真空计又名真空表,是测量真空度或气压的仪器,一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量,在科研和工业生产中广泛使用;该型规管采用经过稳定化处理,热容量极小的热丝作为真空敏感元件,并具备环境温度自动补偿和粉尘防护功能,具有量程宽,响应快,抗污染,耐氧化漂移小,寿命长性能稳定等特点,特别适用于粗、低真空测量。

真空系统原理是怎么样的?(图4)